PI膠固化爐是一種用于PI(聚酰亞胺)高溫固化烘烤的專(zhuān)業(yè)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于微電子工業(yè)等領(lǐng)域,其核心功能在于通過(guò)精確控制溫度、時(shí)間和環(huán)境條件,實(shí)現(xiàn)PI膠的高質(zhì)量固化。
PI膠固化爐的技術(shù)特點(diǎn):
高溫固化能力:
PI膠固化爐的最高溫度可達(dá)450℃(部分型號(hào)可自定義),能夠滿(mǎn)足PI膠高溫固化的需求。
溫度波動(dòng)度控制在±1℃,溫度均勻度達(dá)到±5%(在300℃平臺(tái)),確保固化過(guò)程中溫度的穩(wěn)定性和均勻性。
精確控溫系統(tǒng):
采用智能控制系統(tǒng),如日本優(yōu)易控系統(tǒng)(可聯(lián)網(wǎng),對(duì)接MES及SECSGEM),實(shí)現(xiàn)高度精確的溫度控制。
溫控儀表多為觸摸屏設(shè)計(jì),支持多段數(shù)、多工藝控溫,可預(yù)編120個(gè)程式,每個(gè)程式大可編99段,共1200段歷史數(shù)據(jù)查詢(xún)(數(shù)據(jù)可以通過(guò)USB接口導(dǎo)出)。
穩(wěn)定的環(huán)境控制:
固化爐內(nèi)部具備良好的密封性能,能夠有效隔絕外界的灰塵、雜質(zhì)和氣體。
可根據(jù)需要調(diào)節(jié)內(nèi)部的氣氛,例如通過(guò)惰性氣體(如氮?dú)?保護(hù),進(jìn)一步減少氧化等不良反應(yīng)的發(fā)生。
氧含量指標(biāo)嚴(yán)格,高溫狀態(tài)氧含量≤20ppm +氣源氧含量,低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm +氣源氧含量。
自動(dòng)化與智能化操作:
配備先進(jìn)的控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化的溫度控制、時(shí)間控制和氣氛控制。
操作人員只需通過(guò)簡(jiǎn)單的界面設(shè)置參數(shù),固化爐即可自動(dòng)完成整個(gè)固化過(guò)程,減少人為操作的誤差。
實(shí)時(shí)監(jiān)控功能能夠記錄固化過(guò)程中的溫度、時(shí)間和氣氛等參數(shù),為質(zhì)量控制和工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。